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多晶硅專(zhuān)用球閥是多晶硅生產(chǎn)系統中的核心裝備，具有截斷到導通作用。由于其所處工況極其惡劣，使用壽命一般在三個(gè)月到半年，閥門(mén)密封失效極快。收集大量素材和用戶(hù)反饋，通過(guò)不斷優(yōu)化密封面成型工藝、開(kāi)發(fā)氣固相分離技術(shù)、改善墊片密封形式、簡(jiǎn)化閥桿受力結構、轉移漏點(diǎn)等五大措施，系統性地解決了閥門(mén)內漏和外漏的問(wèn)題。開(kāi)發(fā)的多晶硅硬密封球閥完全實(shí)現了國產(chǎn)化，產(chǎn)品價(jià)格約為進(jìn)口產(chǎn)品的 76% ，供貨周期從進(jìn)口的半年下降至 2 ～ 3 個(gè)月，產(chǎn)品使用壽命從 6個(gè)月提高到兩年以上，實(shí)現了以國代進(jìn)，性能領(lǐng)先進(jìn)口同類(lèi)產(chǎn)品。

針對V型球閥因單點(diǎn)沖刷導致閥體內腔和閥座磨損等問(wèn)題，研究設計了防沖刷V型球閥，設置具有擋流功能的擋流板閥座。在小開(kāi)度下對擋流板的防顆粒、改變流向和減小渦流作用進(jìn)行了分析，并進(jìn)行了閥體耐壓試驗、閥座密封試驗和小開(kāi)度渦流試驗。

利用計算流體力學(xué)商業(yè)軟件研究 來(lái)仿真模擬V形調節球閥在不同開(kāi)度下的流量特性。 再結合實(shí)驗數據，對不同的V形切口形狀進(jìn)行修正， 使其與理想的流量特性趨于一致，可以提高了閥門(mén)的流量調節性能。

利用光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡、原子吸收光譜和顯微硬度儀等，研究了失效的F}l合金球閥閥體的基體組織和閥體表面硬質(zhì)涂層的微觀(guān)結構。研究發(fā)現，F5l球閥失效的主要原因是其硬質(zhì)涂層中存在尺寸較大和數量較多的疏松，導致涂層整體硬度顯著(zhù)降低，過(guò)早失效。